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设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》

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浏览:次 2017-05-31 19:59:03

设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》 设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》 国家标准对洁净厂房有3个标准,1个是今天下午要仔细讲的《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472,还有《洁净厂房设计规范》GB50073 还有1个规范是《医药工业洁净厂房设计规范》GB50457。设计建造电子工业洁净厂房的重要根据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》由于不论是扩建厂也好,还是改建厂也好基本规范都是利用的。任何1个工程建设设计是先行,首先弄好设计,只有弄好设计,后面的程序才走的顺,走的好,所以这里说《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要根据。  如果我这里说到的你首先履行这个规范,为何讲重要根据,先把这个讲讲,由于在很多地方在进行消防检查的时候,首先都是履行建规,任何1个工程必须要履行建规,建规对建设防火等各个方面的规定,从消防的水系统设计等很全面,大家在制定《电子工业洁 国家标准对洁净厂房有3个标准,1个是今天下午要仔细讲的《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472,还有《洁净厂房设计规范》GB50073 还有1个规范是《医药工业洁净厂房设计规范》GB50457。设计建造电子工业洁净厂房的重要根据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》由于不论是扩建厂也好,还是改建厂也好基本规范都是利用的。任何1个工程建设设计是先行,首先弄好设计,只有弄好设计,后面的程序才走的顺,走的好,所以这里说《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要根据。
设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》
  如果我这里说到的你首先履行这个规范,为何讲重要根据,先把这个讲讲,由于在很多地方在进行消防检查的时候,首先都是履行建规,任何1个工程必须要履行建规,建规对建设防火等各个方面的规定,从消防的水系统设计等很全面,大家在制定《电子工业洁净厂房设计规范》的时候斟酌到这类电子厂房的特点,针对这个特点制定了消防方面的规定,如果说这些规定和建规有冲突的时候,就要履行这个。现在在大家国家可能有很多人以为,比如说设计的时候,很多在设计根据里面第1条是建规,也把洁净厂房写进去了,这两个来说主要写哪个,我可以回答大家的首先要履行《电子工业洁净厂房设计规范》,固然建规也要履行,这个规范里面没有说到的问题,你要履行那个。

  在设计建造电子工业洁净厂房的重要根据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》 这个问题1开始很重视,为何编这个规范,就是由于从2000年左右,华虹伺服万能材料实验机NEC建设开始,到后来的TFT、京东方等新厂的建设都存在1个问题,原来的50073和建规里面的有关防火分区等各个问复合式环境实验机题都不能适应电子工业洁净厂房的特点。比如说由于洁净厂房的特点,有很多的易燃易爆和有毒的气体和化学品,因此这里有专用的房间,这里的摆放建规里面是不能解决的问题,所以针对这1点,大家编写组在进入的时候,就是想把这个问题解决。最近合肥上半年又开了1次,由于这个规范刚出来,安徽省消防总队他们认为应当履行建规,或两种都要履行,所以7月份开的时候我去了,并且我特地请了建规管理组的负责人,就是建规50016的负责人1起参加这个会,主要那个会解决这个问题,就是说大家电子洁净设计厂房这两种规范首先履行哪个,首先履行这1个。因此在合肥京东方的消防论证会上大家写记要的时候,第1条就是TFT设计首先履行《 电子工业洁净厂房设计规范 》GB 50472等规范的要求。在坐的你们如果说以后在遇到这个问题,也要很明确首先要履行这个规范。

  第1本规范是在85年实行,由于这个发展大家在2001年对GB77384制定进行修订出现GB50073,这里面最大的差别有两点,第1点洁净度等级不是依照209,而是依照国际标准分为9级完全和国际接轨。大家是2000年的12月份审查通过的标准是2000年5月份开始实行,事情很巧,美国人对FS209在2002年下半年宣布作废,不在使用,

  第2个不1样是扩大,这本标准适用于所有的洁净厂房,对这个问题也出现1些问题,就是在强调,由于大家国家编标准的习惯,对强迫性标准的内容很多,具有法规性的内容超越了这个内容,但是改编这个很困难,所以大概在96年左右国家在强迫性标准里面又要有强迫性条文电脑式包装紧缩实验机和规定性条文。因此大家GB50073出来以后,就有了很多强迫条文,下午大家会讲到这些问题,强迫性条文出来以后,对电子行业来说有些强迫条文1些问题不是太大,但是也有1些不是很适合。

  设计建造电子工业洁净厂房的重要根据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》针对电子洁净工业厂房的特点,有关易燃易爆的化学品、气体的规定,这些规范里面没有写,所以这类情况下,大家在2002年GB50073提出1个问题,就是50073能不能在编补充的规范,后来在这类情况下,2005由大家刚才说的标准定额站和大家院里向建设部提出能不能编写建设厂房洁净设计规范,初衷是编写行业标准,后来建设部改成国家标准。液压式万能材料实验机这3个标准的关系是这样的,如果电子工业洁净厂房首先履行《电子工业洁净厂房设计规范》这里面相干规定,在这个规范里面如果500731样的我就不写了。一样《医药工业洁净厂房设计规范》也是1样,如果跟50073不1样的就另外写,如果1样的就根据50073规定。所以说这3个规范的关系你是电子工业首先履行《电子工业洁净厂房设计规范》你是医药工业首先履行《医药工业洁净厂房设计规范》,如果没塑料蠕变实验机有讲到的,依照GB50073履行。

  下面洁净技术是1门综合技术,是(生产工艺技术+工期净化+洁净建筑)+高纯物资,这里边我想是1个理念问题。对电子行业讲还有1个排风问题,可是排风处理不好,洁净也运行不好的,大家1定要建立1个理念,今天的技术发展,洁净技术必定是综合技术,你在思考建1个洁净厂房太阳能温循湿冷冻实验机的时候,也是这次编写《电子工业洁净厂房设计规范》主导思想就是要把这个规范辩称适应洁净技术是1本综合技术发展需要来制定。电子产品特别是微电子产品生产依赖于洁净技术的发展,或说洁净技术的发展是微电子产品的更新换代的需要和增进的结果。在坐的可能有弄半导体的,现在洁净技术的发展或说现在9个洁净度等级怎样来的,是电子工业的需要。所以洁净技术和微电子生产,微电子技术的发展是相互以来相互依存、相互增进的。

  下面电子工业的特点,1是严格的空气洁净度和各类杂志的控制要求。2是以微电子产品生产为代表的电子产品生产进程的连续性和自动化程度的不断提高、完善和高精密制造装备的日趋广泛利用。3专业技术的严格控制要求,电子工业洁净厂房1般应具有以下功能设施:净化空调系统、专用净化装备、洁净建筑及装潢、噪声控制、防微振、防静电、防电磁干扰、电器、照明、高纯物资—高纯水、高纯气、高纯化学品供应,安全、报经系统、节能设施、通讯设施等。4是以微电子产品生产为代表的大面积、大空间、大体量的玻璃曲折强度实验机洁净厂房相继建成、并日渐增多。大家初步统计5千平方米以上的大面积、大空间、高度是在15米以上,这类洁净厂房大家国内大陆大概有2310家。因此由于大面积、大空间、大体量的洁净厂房就为电子工业洁净厂房带来了许多许多的问题,这里不详细说。其实还有1个特别是第4个特点引风钻杆改变实验机出1个能耗高的问题,我曾跟国家弄能源的院士说,你说大家电子工业要求多少电,他说用多少,也就用1两万了不起了吧,我说大概在10几万,所以这个能耗就很大了。

  电子工业洁净厂房的特点和工程实践为根据,结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况,广泛的调查研究、搜集整理相干的专题报告、测试资料,认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验,广泛征求了国内有关单位的意见,群策群力进行制定。

  现在设计建造电子工业洁净厂房的重要根据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》5次征求意见会在上海、北京、深圳都举行了征求意见会,还有大家写了很多专题报导,这里说到的大家把NFPI318翻译中文以后,在318里面的内容在里面采取了1部份,对国外标准是这样的,318大家都知道这个规范,这个规范在美国叫消防标准高品质炽热丝实验机,他针对的范围就是半导体工厂,他是这样写,把半导体生产许多安全问题全写到了,大家这里只吸了1部份进去。

  《电子工业洁净厂房设计规范》共分15章和4个目录,其中强迫性条文有将近50条,在规范中凡是用黑体字标准的条文必须强迫履行。所有的电子工业洁净厂房设计建造的单位和相干科技人员都应当认真履行、实行规范中的强迫性条文、推荐性条文的各ddl万能实验机项规定,使电子工业洁净厂房的设计、建造有法可依、有章可循。

  这里面我要先容1下强迫性条文,具体内容下午再说,对强迫性条文需要在坐的设计单位、工业企业和工程企业大家1定要重视强迫性条文,强迫性条文不单单是你在设计当中单位进行审查和对比的,并且以后在投入运行的时候,特别是中间有关安全、消防的条文在工程建设的时候,说不定甚么时候冒出1个问题,这样验收就很难成功。

  这类规范实行我就希翼从今年7月1号开始实行,希翼大家能够把这个规范真正成为国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要根据,希翼你们在建造的时候把这类规范作为根据,GB50472的实行,将有效地避免因设计时洁净技术措施、安全消防设施等的设置要求不明确、不1致造成工期烟雾或措施不当、引发的产品质量降落或安全隐患;有效的避免因电子工业洁净厂房设计时各专业技术的不调和、不完善,引发的工程设计的过失1直设计事故。在坐的都是工厂,你就不希翼由于设计的过失引发设计事故乃至以后事故的产生,所以大家作为规范编写,力求把现在已看到的有关消防安全和应当遵照的条文写进去,希翼大家认真的实行,能够有效的避免这些情况的产生。严重时使建成的洁净厂房运行效果差、影响产品质量和安全可靠性差。

  由于设计建造电子工业洁净厂房的重要根据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》具有上面的特点,现有国家标准《 洁净厂房设计规范 》GB50073中有关规定已不能满足需要,特别是触及化学份子污染物的控制、安全、消防等方面的规定,如洁净建筑防火与疏散,易燃易爆气体和化学品的贮存输送、安全消防报警设施等。
避免净化空调系统成为污染源

♦不产尘、不积尘、不受潮和易清洁原则:
♦风系统风管制作应有专用处地,其房间应清洁、密闭。工作人员应穿干净工作服和软性工作鞋。
♦应采取不复油的镀锌板,易洗净,不起粉。
♦风管接缝易漏风、积尘,也不便打扫,加工中应尽量减少拼接缝。矩形风管底边的横向拼缝更容易阻挡尘土,所以不允许有横向拼接缝。
♦风管和部件制作终了应擦拭干净,并将所有开口用塑料膜包口密封。
♦风管安装应在土建作业完成、环境的清洁卫生做好落后行。
《规范 》暖通消息刚度疲劳实验机空调部份
♦风管制作是1个重点,在洁净室施工中有其特殊要求。例如根据建设单位反应和多年实践,证明冷板涂漆的办法对风管很不好。
♦提出了更高的要求:“当设计无特殊规定时,风系统的末级过滤器之前的风管材料应选用镀锌钢板。末级过滤器(高效过滤器) 以后的宜用防腐性能更好的金属板材或不锈钢板,有特殊要求时,也可采取不低于难燃B1 级的非金属材料风管。有防腐和高周密性要求的排风管道应采取非金属板材或不锈钢板,不宜采取玻璃钢材料。”
《规范 》暖通空调部份
♦镀锌钢板在加工进程中镀锌层也容脱落。
♦为此提出“镀锌钢板的镀锌层必须在100号以上,其表面不得有裂纹、结疤、划伤,不得有明显氧化层、针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺点。不锈钢板应为奥氏体不锈钢材料,其表面不得有明显划痕、斑痕和凹穴等缺点。”
♦风管板材寄存处应清洁、干燥、避开尘源,底层应为带有软面的平托板。不锈钢板应竖靠在木支架上。不锈钢板材、管材与镀锌钢板和其管材不应与炭素钢材料接触,应分开放置。码放时不应平拖。
♦风阀、消声器等部件安装时必须消除内表面的油污和尘土。
♦消声器内充填的消声材料应不产尘、不掉渣(纤维)、不吸潮、无污染,不得用疏松材料,纤维材料应为毡式材料,外覆可以避免纤维穿透的包材。不应lat100磨耗实验机采取泡沫塑料和离心玻璃棉。
♦有开孔的风管,应在绝热后再安装。风管绝热后,制止在绝热层上开洞和上螺栓。风阀和打扫孔的绝热措施不应妨碍其开关。
♦咬接和法兰连接的金属风管,绝热之前,胶封缝隙以后,按附录A的方法进行漏风检测,应随测随装。1⑸级洁净度环境的风管全部检测,6⑼级洁净度环境的风管检测30%,很多于1个系统。应同时符合以下两项周密性指标:
♦单向流漏风量≤1% ,非单向流漏风量≤2%
管段及其上附件 实验压力
(Pa) 最大漏风量(m3 / h•m2)
总管(连拂尘机出、入口的管段) 1500 1.36
干管(连接总管与支管或支干管的管段) 1000 3.14
支管(连拂尘口的管段,包括接头短管) 700 2.49
♦施工反应强烈的1点是彩钢板所用金属面板厚度愈来愈薄,非常影响洁净室质量,为此,条文中强调金属面板厚度应为0. 5 ±0. 03 mm ,也就是说,这1条是有所指的关于质量的重要1条。
♦为了确保周密性,由实践得出的从行标沿用下来并被各种标准采取的制止在密封垫上涂涂料的规定还是在国外标准上没有被突出明确的1种行之有效的措施。
♦国内实践证明,要打扫的风管应开打扫孔。而开打扫孔在行标和国外标准中提到微机控制磨擦磨损实验机过。但风管开打扫孔明显与净化风管相矛盾。
♦《规范》要求风管不应开打扫孔。
♦当不具有上述条件而又需要开打扫孔时,管径大于500 mm的风管每20~30 m 直管段端头应设打扫孔,打扫孔的门应严格密封、绝热。风管内过滤器前后应设测尘测压孔。系统安装后必须将孔口封闭。”
♦新风口底部距室外地面应大于3m,排风口应高于新风口不小于6m,当新风口、排风口在同侧同高度时,安装的水平距离应不小于10m。干湿循环实验机
♦新风入口处必须有挡雨措施,净透风面积应使通过风速不大于5m/s。
♦回风口上的百叶叶片必须竖向安装,宜为可调相当闭的,室内回风口有效透风面积应使透风速度不大于2m/s,走廊等场所不薄膜冲击实验机大于4m/s。当对噪声有较严要求时,上述速度应分别不大于1.5m/s和3m/s。
♦定风量阀安装处管内阀的两端工作压力差应大于阀的启动压力。入口前后直管应有尽量长的长度,并应不小于该定风量阀产品要求的安装长度,而且最小不小于1.5倍阀长或1.5倍阀径的直管段。安装方向与唆使相同。
♦防火阀的阀门调理装置应设置在便于操作及检验的部位,单独设支、吊架。安200nm金属材料改变实验机装后必须检查易熔件仍牢固固定。当有长途不平坦运输进程时,其中易熔件应在各项安装工作终了后再安装。阀门在吊顶内安装时,应在易检查阀门开闭状态和进行手动复位的位置开检查口。

ISO 空气过滤器 分类
空气过滤器
♦净化系统处理对象特点:微粒浓度低、粒径小、分散特压力传感器疲劳实验机性差异小
♦由于工艺高可靠性对除尘要求:净化系统以阻隔型过滤分离为主
♦目前主要采取低填充率的深层过滤器,现有过滤器可以满足任何利用场合
♦末级过滤器的性能是确保工艺要求的洁净度实现的关键,前级过滤器是保护
♦末端 高效过数显压力实验机滤器 安装时的防泄漏有时比单纯提高过滤效力更重要


空气过滤器性能指标
♦1. 额定风量(面速和滤速):单位面积通过量
♦2. 过滤效力(穿透率,净化系数):计重效力,计数效力(与实验尘和检测方法有关的)
♦3. 阻力:初阻力为未积尘时状态,终阻力为需更换时的状态。
♦4. 容尘量:是表示过滤器容量的参数。标准规定:终阻到达初阻1倍的容尘量。


高效过滤器分类

♦国标GB13554定义:高效过滤器分为A、B、C、D4类
♦A类≥0.3μm效力0.999
♦B类≥0.3μm效力0.9999
♦C类≥0.3μm效力0.99999
♦D类≥0.1μm效力0.99999
♦国标GB50073定义:高效过滤器HEPA和超高效过触摸式手机翻盖实验机滤器ULPA
《规范 》暖通空调部份
♦国内1些规范规定净化系统新风要3级过滤,最近卫生部关于净化系统回风口上要安装细菌1次通过率不大于10 %的过滤器的规定,这是根据国内国情,而非照抄国外标准的规定。
♦为此《规范》规定:“在新风经过3级过滤(末级为高中效或亚高效过滤器)、回风口上安有细菌1次通过率和尘埃按重量1次通过率均小于10 %的过滤器。
♦高效过滤器或其送风末端应现安现拆。拆开圆剥削离实验机包装后,首先应检查铭牌或说明书所载性能是不是符合设计要求,效力和阻力应为出厂实测数据,不得以过滤器所属种别定义数据代替。应有扫描检漏合格证明。然落后行外观检查。
♦用于以过滤生物气溶胶为主要目的或有特殊要求的高效过滤器或带有高效过滤器的送风末端装置必须接受现场扫描检漏,合格方可安装高效过滤器或其送风末端装置;现场扫描检漏装置应适用于所施工工程所用型号的高效过滤器。
♦密闭、无泄漏是净化系统的关键之1!
♦法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘的材料,首选多孔且闭孔的材料。
♦1个系统法兰的密封垫的性能和尺寸应相同。
♦法兰密封垫的接头做成阶梯或企口形。
♦针对在工程检测实践中发现的大量不规范安装方法强调指出:“采取密封垫时,紧缩率宜为25 %~30 % ,制止将密封垫压死。密封垫材质和接头情势应符合第5. 3. 2~5. 3. 3 的规定。当用螺栓、压块压紧密垫时,4角必须压紧,不得只压边框中点。当过滤器尺寸大于320 mm 时,最少采取4角8 点压紧”。
♦这1条看似简单,实践证明它是过滤器漏风的主要缘由,也是洁净度下降、含菌浓度升高的重要缘由。
♦要求在回(排)风口上安高效过滤器,都是由于回、排风中有有害气溶胶,所以防漏是第1要素,过滤器必须先检漏后安装。如果过滤器边框只是普通结构而非零泄漏结构,则还要对边框进行扫描检漏。对不能进行检漏的,必须进行生物学评价。为了安全,还是提倡预先检漏。
♦首先要对过滤器检漏,不漏才能安装。回(排)风装置不能消除笔记本转轴寿命实验机过滤器本身漏。然后才检测安装过滤器安装密封或泄漏。
♦送(排)风末真个安装是风系统中的重点。
♦《规范》不但对国际上先进的液槽密封、FFU 等负压密封作了规定,也对国内出现的双环密封、动态气流密封等提出了要求。
♦要真正消除渗漏风险,只有在结构上杜绝渗漏的可能性,仅仅靠机械密封是不够的,渗漏风险仍然存在。
♦特别是高风险场合!渗漏是成败关键!
传统的排风装置
在结构上存在渗漏的可能性,单靠密封条密闭存在风险
图1
动态气流密封负压高效排风装置 在结构上保证了不渗漏,规避了风险,密封条只是减漏
图2


末端装置渗漏检测
♦《规范》明确“为过滤有害气溶胶在回、排风口上安有高效过滤器的洁净室及其固有设备(如生物安全主实验室的生物安全柜) ,必须在安装前用现场检漏装置对高效过滤器扫描检漏,确认无漏后方可安装。普通回、排风口安装后再对安装边框扫描检漏,确认无漏。当没法对边框扫描检漏,又非零泄漏的边框密封结构,必须进行生物学等专门评价”
♦“当在回、排风口上安装动态气流密封排风装置时,应将正压接收坚固地与接嘴联接,压差表应安于室内目测高度。高效过滤器安装前应进行扫描检漏,确认无漏。”
♦“要求压差计读数应在10 Pa 以上。”


完全工程验收体系
♦《规范》关于检测技术的附录有的是参考了ISO 标准,有的比ISO 标准还详实,有的则是ISO 所没有的。《规范》提出了涵盖各类洁净室可能要检测的34 项指标和具体方法,这比ISO 标准还多10 项左右。在这些测定方法中有的是采取国内实践过的国际先进技术,有的是采取国内研究的实践证明有效的新技术。所以这些都是在现实检测验收中公道可行的办法。


完全工程验收体系
♦“1个主导、两个方面、3个阶段、4个确认”,即:
♦1个主导,即验收以建设方主导;
♦两3体磨损实验机个方面,工程验收与使用验收;
♦3个阶段,中间验收阶段、施工验收阶段与性能验收阶段;
♦4个确认,设计符合性确认、安装确认、运行确认和通过综合性能全面评定进行性能确认。

??验收体系:“1个主导、两个方面、3个阶段、4个确认”弹簧寿命耐久实验机的相互关联

《规范 》验收状态
♦施工验收阶段和性能验收阶段,这在原行标履行进程中已被大家所认同与熟习。但施工阶段验收状态、和“静态”的认定,国内在认识上有差异,由于各个标准的定义上也不尽相同。
♦ISO 将“工艺装备正在依照约定的方式进行运行但室内无人的状态”定义为静态
♦认为仅合适于全自动化生产工艺场合,不宜作为普适的定义。
♦《规范》给出了3种静态含义,
♦全部建成且设施齐备,净化空调系统运行正常,现场没有人员,但生产装备已安装终了而还没有运行的状态;
♦生产装备停止运行并室内进行自净20 min 后到达的状态;
♦正在按建设方(用户) 和承建方约定的方式运行的状态。
♦《规范》规定这3 种状态由当事人协商选择。


工程检测附录
♦《规范》关于检测技术的附录有的是参考了ISO 标准,有的比ISO 标准还详实,有的则是ISO 所没有的。《规范》提出了涵盖各类洁净室可能要检测的34 项指标和具体方法,这比ISO 标准还多10 项左右。
♦在这些测定方法中有的是采取国内实践过的国际先进技术,有的是采曲折强度实验机用国内研究的实践证明有效的新技术。所以这些都是在现实检测验收中公道可行的办法。


管路系统漏风的检测方法
♦净化风管1律要漏风检查,原漏光检查太粗了
♦漏风检查要求单位风管展开面积漏风量和系统漏风率两项达标。原行标只有漏风率。如果系统很短但风量很大则漏风率可能也很小,但单位面积漏风量可能较大,反之亦然。
♦有的规范以工程压力为准计算漏风量,或在实验压力下测出漏风量还要换算成工作压力下的漏风量,看似工作压力接近实际,但是工作压力很难肯定,因此宜用1个统1的较高的实验压力来计算漏风量,根据所在管段肯定1个实验压力,而不管工作时的压力可能小于此值。
♦《规范》要求按系统最大终阻力的缺口冲击实验机约2倍估算值作为检测压力。
♦新风段约100Pa,空调机组约500Pa,管道约100Pa(100m长),部件约200Pa,末端约400Pa,再放大1.2倍,取整数采取1500Pa,相当于高压风管。结果总管取1500Pa,干管取1000 Pa,支管取700 Pa。
♦1⑸级都用单向流,末端过滤器要满布,则每台 过滤器 滤速要远低于乱流洁净室,阻力反而小,将其工作压力定得高于乱流洁净室是不对的。
♦实际上不同管段压力会不同,有的规范认为支管不要测漏风量。由于它接近送风口,压力趋向于“0”。净化系统支管末端不是敞开的风口,都有高效过滤器,终阻力是很大的,支管上有时还有阀门、加热器等部件,工作压力不低,支管也会漏风。
♦《规范》规定总管与支管均要测漏风率,气瓶水压实验机在附录A提出了检测方法。但是当系统不复杂时,按国标《透风与空调工程施工质量验收规范》GB50243的方法检漏也符合要求,这就在操作上增加了灵活性。
♦原行标和其他标准要求全部系统上测,所有开口封上盲板。即便测出了也仅知道系统有漏,漏在何处则不得而知。由于系统复杂,盲板很难封,可操作性太小。如果只规定测总管、干管,支管不测,实际上自从制定以来包括其他规范的类似规定根本未履行,也未被检查,犹如1个虚设。
♦《规范》抗拉实验机附录通过建立摹拟系统实验,认为在地面上组装1段管道测1段管道、合格后安1段管道的方法是可行的。分段安装和检测不但方便,而且能知道漏在何处,便于堵漏。同时规定也能够按原有办法在系统安装后加盲板测定。这由建设方和检验方协商肯定。

高效过滤器的检漏标准
♦行标规定:普通高效过滤器当下游透过率超过额定透过率3倍时即判定为漏,对超高效过滤器超过2倍则判定为漏。
♦这不但如何肯定额定透过率,固然还触及到检漏气溶胶种类与浓度问题。
♦最近几年来,在ISO标准中才给出漏的标准。对普通高效过滤器最少超过10倍算漏,多则30倍
♦《规范》附录结合科研给出更简便的肯定是不是泄漏的方法
♦关于高效过滤器检漏气溶胶问题,国际经常使用冷产生DOP作检漏气溶胶,又提出光度计不如计数器,最近几年来DOP 有致癌的风险。但用甚么气溶胶更好,如何检漏更方便,都仍欠明确。
♦《规范》通过理论研究和实验,并加约1倍的安全系数,得出用大于4 000 粒/ L 浓度的大气尘便可扫描检漏的结论。

高效过滤器检漏
♦检漏时将采样口放在离被检过滤器表面2~3cm处,宜以1.5cm/s(2.83L/min)或2cm/s(28.3 L/min)的速度移动,对被检过滤器进行扫描。当上游浓度较大时可提高扫描速度。
高效过滤器采样流率(L/min)过滤器上游浓度(粒/L)普通高效过滤器(国标A、B、C类)2.83或28.300.5μm≥5000 超高效过滤器 (国标D类和以上)28.30.3μm≥6000
《规范 电气部份 》
♦为了保证环境控制、工作(生产)的安全和保护检验的方便,要求洁净区用电线路与非洁净区线路应分开敷设;主要工作(生产)区与辅助工作(生产)区线路应分开敷设;污染区线路与清洁区线路应分开敷设;不同工艺要求的线路应分开敷设。
♦穿线管口密封对洁净室密闭尤其重要,要求穿过围护结构的电线管应加设套管,并利用不收缩、不燃烧材料将套管密封。进入洁净室的穿线管口应采取无腐蚀、不起尘和不燃材料封闭。有易燃易爆气体的环境,应使用矿物绝缘电缆,并应独立敷设。
♦金属有线导管或线槽不应焊接跨接接地线,利用专用接地点跨接。不能图方便而省去专用接地线直接用线槽跨接,这因线槽质地而大大影响接地电阻。
♦洁净室的配电盘(柜)、控制显示盘(柜)、开关盒宜采取嵌入式安装,与墙体之间的缝隙应采取气密构造,不突出墙面、不容易积灰。
♦为了减少1旦检验时对室内的污染, 配电盘(柜)、控制盘(柜)的检验门不宜开在洁净室内,如必须设在洁净平面双轴实验机室内,应为盘、柜安装气密门。
♦洁净环境灯具宜为吸顶、气密。单向流静压箱底面(室内1面)上穿过螺栓之类而造成严重漏泄并很难补修的孔洞很多,即便焊住也不行,罗纹处仍漏,加上螺帽,打上胶都难以封住。必须时只能把螺杆根部焊在底面上。

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