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无油干式真空泵的工作原理和应用

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浏览:次 2017-05-31 23:14:00

无油干式真空泵的工作原理和应用 无油干式真空泵的工作原理和应用 无油干式真空泵的工作原理和利用利用范围:无油真空泵的利用是广泛的,主要有以下几个方面:[1]低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;[2]半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中常常用到或生成腐蚀 性气体和研磨微粒;[3]除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希翼微粒混入泵油中,而希翼微粒排出泵外,则用1定型式的干式机械真空泵可以满足要 求;[4]在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要避免有机溶剂造成污染,合适用干式真空泵;[5]用做1般无油清洁真空系统的前级 泵,以避免油污染。工作原理:无油活塞式真空泵又名【干式机械泵】,意思是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。目前,真空行业使用的大多数
无电线电缆高压漏电起痕试验机油干式真空泵的工作原理和利用

利用范围:
无伺服控制材料试验机油真空泵扣件力学性能试验机的利用是转轴扭力耐久试验机广泛的,主要有以下几个方面:
[插拔寿命试验机1]低压化学气复合板拉力试验机相沉积中的多晶初粘性试验机硅制备工艺中;
[2]半导体刻蚀工艺。在这安全鞋压缩试验机些生产工艺中常杯突薄板试验机常用到或生成腐蚀 性气体和研磨微粒;
[3]除半导体工艺外的某些产生微环块式磨损试验机粒的工艺,不希翼微粒混入泵油中,而希翼微粒排出泵外,则用1定型式的干式机械真空开关试验机泵可以满足要 求;
[4]在化学工业、医药工业、食品工业中的旋转轴扭转试验机蒸馏、干燥、脱泡、安全网耐冲击贯箱包跑步机试验机穿试验机包装等,要避免有机溶剂造管材耐压试验机成液晶式万能试验机污染,合桌刮磨试验机上型电动拉力试验机适用干式真空泵;
[5]用做1般无油清洁真空系单翼落下试验机统的前级 泵,以避免油污染。

工作原理:

无油活塞式真空泵又名【干jz888盐雾试验机式机械泵】,意思是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他dye300电液式压力试验机工作介质,而且泵的极限压力与油封式真热拉伸试验机空泵同等量级拉伸试验机或接近的机械真空泵。目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都手机按键寿命试验机是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展和真空利用领域的扩大,原本的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:1是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这类返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加装备的保护本钱。其次,由于某些工艺进程中的反应物资使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
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